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    掃描電鏡圖像為何可能會出現(xiàn)條紋或拖影?

    日期:2025-05-29

    掃描電鏡(SEM)圖像中出現(xiàn)條紋或拖影(smearing、streaks、drag)現(xiàn)象,通常反映了電子束掃描、樣品狀態(tài)或系統(tǒng)穩(wěn)定性的問題。以下是常見原因及解釋:

    1. 樣品帶電

    非導(dǎo)體樣品或?qū)щ姴涣紖^(qū)域容易積聚電子,形成局部電場,使電子束偏轉(zhuǎn),導(dǎo)致圖像出現(xiàn):

    條紋狀亮斑

    圖像偏移或重復(fù)拖尾

    解決方法:

    在樣品表面噴金、碳等導(dǎo)電涂層

    使用低加速電壓成像

    使用環(huán)境掃描電鏡(ESEM)

    2. 掃描速度過慢或電子束漂移

    長時間掃描時,如果樣品或電子束存在漂移,會導(dǎo)致圖像模糊或形成拖影。

    常見原因包括:

    樣品加熱或冷卻造成熱膨脹位移

    鏡筒電子漂移

    工作環(huán)境不穩(wěn)定(如溫度、磁場、空氣流)

    解決方法:

    穩(wěn)定室溫

    縮短掃描時間(提高掃描速度)

    等待樣品和系統(tǒng)熱穩(wěn)定后再掃描

    3. 振動干擾或電磁噪聲

    環(huán)境振動或電磁干擾可造成周期性圖像條紋,尤其表現(xiàn)為橫向或斜向線性條紋。

    可能來源:

    地板震動、周圍設(shè)備運(yùn)作(如壓縮機(jī))

    電源干擾(如接地不良或電源共地問題)

    解決方法:

    使用防震臺

    排查接地系統(tǒng)

    遠(yuǎn)離大功率電器或變壓器

    4. 探測器信號問題

    探測器本身存在故障或信號接觸不良,也會導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)不規(guī)則紋理或噪聲線條。

    建議檢查:

    探測器是否干凈

    接線是否松動

    放大電路是否工作正常

    5. 數(shù)據(jù)傳輸錯誤或圖像存儲損壞

    在圖像數(shù)據(jù)采集、處理或保存過程中出現(xiàn)錯誤,也可能造成圖像條紋或部分圖像拖尾。

    可嘗試:

    重啟 SEM 軟件或主機(jī)

    再次采圖觀察是否可重現(xiàn)問題


    TAG:

    作者:澤攸科技


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