掃描電鏡樣品表面太粗糙會影響成像嗎？
日期：2025-07-25
掃描電鏡（SEM）樣品表面太粗糙會明顯影響成像質量。以下是其具體影響及原因：
一、成像分辨率下降
粗糙表面會導致電子束入射角度變化劇烈，造成：
二次電子信號發散不均，圖像模糊；
邊緣增強過度，失真嚴重；
難以分辨細微結構或微小缺陷。
二、聚焦困難
由于樣品高度起伏不平，電子束很難在整塊區域內統一聚焦，造成：
圖像部分清晰、部分模糊；
放大倍率越高，焦深越淺，問題越明顯。
三、電荷積累嚴重（非導體）
粗糙表面增加絕緣區域表面積，容易出現：
局部帶電不均；
圖像漂移、閃爍、出現亮斑或黑影；
必須噴鍍導電層或降低加速電壓緩解。
四、能譜分析不準
進行能譜（EDS）分析時，粗糙表面會：
改變電子束入射角和出射角；
引起X 射線信號偏移或誤差增加；
影響元素分布圖（Mapping）精度。
五、樣品遮擋與陰影效應
表面高度差較大時，電子束會被凸起部分遮擋：
導致深坑、裂紋底部無法成像；
出現“陰影區”，圖像對比不均勻。
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作者：澤攸科技
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