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    掃描電鏡掃描時出現干擾條紋是什么原因?

    日期:2025-08-01

    掃描電鏡(SEM)成像時出現干擾條紋,通常是由于外部干擾、電氣系統異常或樣品問題引起的。這些條紋可能呈現為周期性橫紋、斜紋、閃爍或拖影,嚴重時會嚴重影響圖像清晰度和分辨率。

    下面是常見原因及對應解釋:

    一、外部電磁干擾

    1. 電源干擾

    由實驗室供電不穩定、接地不良、電壓波動引起;

    表現為周期性條紋或圖像閃動;

    尤其在與 SEM 共用線路的設備(如壓縮機、熒光燈)啟動時更明顯。

    2. 強電設備干擾

    SEM 附近存在大功率電機、空調、電焊機、離子泵等;

    這些設備產生的電磁場可干擾掃描系統;

    可能出現周期性水平條紋或模糊斜線。

    3. 無線信號/手機干擾

    高靈敏度 SEM 對附近手機、Wi-Fi 或無線電波也可能敏感;

    干擾條紋多為不規則閃動或圖像跳動。

    二、掃描控制系統問題

    1. 掃描信號不穩定

    若主板或控制模塊的模擬信號通道不穩定,可能導致圖像出現周期性擾動;

    常見于老舊設備或長期運行后的電子控制老化。

    2. 接地不良

    設備接地線松動或電勢不均,會引起電子束不穩定;

    圖像可能出現類似“波紋”或拉伸。

    3. 電纜接觸不良

    探測器線纜松動、屏蔽破損或插頭接觸不良,會引發圖像干擾;

    條紋可能隨時間變化而閃爍或變寬。

    三、樣品因素

    1. 樣品帶電

    不導電樣品或未噴鍍導電層的樣品,易積累電荷,導致電子束偏轉;

    會出現不規則的亮暗條紋、波動或“拖影”;

    特別是在放大倍率較高時更明顯。

    2. 樣品移動或不穩定

    樣品未固定牢固,在掃描時輕微振動;

    圖像條紋可能伴隨輕微“錯位”或重復重影。

    四、環境振動干擾

    SEM 對微小振動非常敏感;

    若地面不穩、臺架無減振、鄰近有震動源(如走動、升降梯),可能導致條紋或圖像漂移。


    TAG:

    作者:澤攸科技


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