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在掃描電子顯微鏡 (SEM) 中進行多區域的自動化成像是提高效率和準確性的重要方法，尤其是在對多個樣品區域進行批量分析時。大多數現代 SEM 都提供了自動化成像的功能，通常可以通過軟件實現多點選擇、設置成像參數，并自動捕獲圖像。以下是如何在 SEM 中實現多區域自動化成像的關鍵步驟：

1. 選擇多區域掃描

SEM 提供了多區域掃描的功能，可以通過軟件界面選擇多個感興趣區域進行自動掃描。

步驟：

在 SEM 的控制軟件中（如 ZEISS SmartSEM、Thermo Scientific Avizo、Hitachi FlexSEM 等），通常可以找到一個“Multi-Area”或“Multi-Region”的選項。

使用鼠標或圖像上的工具框選擇多個目標區域，軟件會記錄這些位置。

2. 設置自動化成像參數

在設置多區域自動成像前，需要根據樣品和實驗目標設定合適的成像參數。這些參數通常包括：

放大倍率：每個區域的放大倍率可以相同或不同。

加速電壓：根據樣品的材料和所需分辨率設置合適的電壓。

工作距離：確保焦距和工作距離保持一致，以保證圖像清晰。

掃描速度：不同區域可能需要不同的掃描速度，取決于你希望的圖像質量和成像時間。

圖像分辨率：選擇圖像的分辨率（像素大小），以確保每個區域的圖像達到所需精度。

這些參數可以為所有選擇的區域統一設定，或為每個區域單獨設定。

3. 自動對焦和對準

為了在自動化成像過程中確保每個區域的圖像質量，SEM 軟件通常提供自動對焦和對準功能。

自動對焦：在每次移動到新區域時，軟件會自動調整焦距。

自動對準：在進行成像前，對 SEM 的樣品臺進行自動對準，以確保每個區域在相應的視場內。

有些 SEM 設備甚至提供全景圖像拼接功能，在成像完成后將多個區域的圖像自動拼接為一張大的高分辨率圖像。

4. 路徑規劃與多點自動成像

自動化成像軟件通常會為選擇的區域生成一個掃描路徑，并按順序進行成像。軟件通常允許你執行以下操作：

自動路徑生成：系統根據所選的點自動規劃樣品臺的移動路徑。

多點圖像采集：軟件根據路徑依次自動移動到各個選定區域并采集圖像。

圖像保存：自動保存圖像，并根據區域編號進行命名，避免混淆。

5. 使用自動化腳本（自動化功能）

一些 SEM 控制軟件支持用戶編寫腳本，用于更靈活的自動化成像操作。你可以利用腳本定義多個區域的掃描順序、圖像捕獲參數等。常用的腳本語言如 Python、Gatan DM scripting、或專用的 SEM 控制語言。

6. 使用 EDS 或其他分析方法的多區域自動化

在多區域自動成像中，除了獲取圖像外，還可以結合其他分析技術（如能譜分析 (EDS)）進行多點自動分析。對于每個區域，不僅獲取圖像，還可以進行元素分析、光譜采集等。

多點能譜分析：自動在多個點位進行 X 射線譜分析，采集對應區域的元素信息。

EDS mapping：對每個選定區域自動進行元素映射，得到成分分布。

7. 高通量自動化

對于一些大樣品或需要高通量成像的情況，部分 SEM 配備了自動樣品臺（如多樣品樣品臺），可以一次放置多個樣品，軟件自動識別并成像。這對材料科學研究中需要對大量樣品進行掃描的任務特別有用。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中進行多區域的自動化成像。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢