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在掃描電鏡（SEM）中實現局部放大，即放大樣品上某一特定區域，通常用于觀察細節結構或缺陷特征，可以通過以下幾種方式實現：

方法一：調整放大倍率（Magnification）

直接方式：

使用 SEM 控制界面中的 “放大倍率”滑塊或輸入框，逐步放大圖像。

鼠標點擊或拖動至目標區域后再提升倍率，可實現該區域的放大觀察。

放大倍率越高，視野越小，需精準對準目標。

方法二：圖像導航功能（Image Navigation）

適用于有圖像縮略圖的系統：

首先在低倍圖像下獲得全貌。

使用導航窗口點擊目標區域或框選區域，即可快速切換視野。

再手動調高倍率，觀察該區域細節。

方法三：電子束移動（Stage 不動）

保持樣品平臺位置不變，僅移動電子束掃描區域：

使用“Beam Shift”或“Scan Shift”功能微調掃描窗口。

適合對微小區域進行快速放大對準，避免平臺移動帶來的抖動或漂移。

方法四：平臺精細移動實現區域選擇

如果目標區域較遠或需精確定位：

先用低倍成像觀察樣品整體。

利用樣品臺的 X、Y、Z 或傾斜旋轉功能，精確移動至目標區域。

然后再逐步提高倍率，查看局部。

方法五：區域放大輔助功能（部分 SEM 軟件支持）

在圖像中直接框選目標區域。

系統會自動放大該選區并居中顯示。

適用于快速局部觀察和圖像采集。