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掃描電鏡（SEM）成像過程中出現(xiàn)的偽影（artifact）是影響圖像質(zhì)量和判讀準(zhǔn)確性的重要問題。偽影通常來源于樣品準(zhǔn)備、設(shè)備設(shè)置、電子束參數(shù)或環(huán)境因素，以下是常見類型和其成因：

1. 充電偽影（Charging Artifacts）

表現(xiàn)：圖像發(fā)亮、發(fā)暗、漂移、閃爍，邊緣模糊，甚至出現(xiàn)條紋、波浪或黑斑。

成因：非導(dǎo)電樣品或未鍍膜的絕緣體在電子束轟擊下積累電荷。

解決方法：噴金/噴碳處理樣品、降低束流、使用低真空模式或ESEM。

2. 條紋/漂移偽影（Drift/Streaking）

表現(xiàn)：圖像沿掃描方向拉伸或扭曲，出現(xiàn)拖尾或鋸齒。

成因：樣品機(jī)械移動、環(huán)境振動、熱膨脹、電子束掃描不穩(wěn)定等。

解決方法：提高穩(wěn)定性，延長掃描時間，使用抗震平臺，降低加速電壓。

3. 污染偽影（Contamination Artifacts）

表現(xiàn)：圖像出現(xiàn)不規(guī)則的陰影、膜狀或塊狀覆蓋物，逐幀變暗。

成因：電子束在真空腔中的有機(jī)殘留、油蒸汽或樣品脫氣物上引發(fā)沉積。

解決方法：清潔樣品和樣品臺、預(yù)抽真空充分、降低束流、使用冷阱。

4. 電磁干擾偽影（EMI）

表現(xiàn)：周期性波紋、周期性亮暗條紋或不規(guī)則明暗帶。

成因：周圍電氣設(shè)備干擾（如熒光燈、泵、變壓器等）。

解決方法：檢查并隔離干擾源，穩(wěn)定電源，使用電磁屏蔽。

5. 掃描畸變（Scan Distortion）

表現(xiàn)：圖像比例不一致、變形、邊緣彎曲。

成因：電子束掃描系統(tǒng)校準(zhǔn)誤差或數(shù)字處理延遲。

解決方法：重新校正掃描比例，檢查軟件設(shè)置。

6. 信噪比不足偽影

表現(xiàn)：圖像顆粒感強(qiáng)、背景雜亂、有明顯噪點。

成因：信號電子數(shù)量不足，探測器靈敏度低，束流太小。

解決方法：增加積分時間、提高束流或加速電壓，優(yōu)化探測器設(shè)置。

7. 樣品運動或抖動偽影

表現(xiàn)：圖像模糊、出現(xiàn)“重影”或跳動感。

成因：樣品未固定牢固、樣品臺故障、外部振動。

解決方法：加固樣品，檢查樣品臺穩(wěn)定性，使用防震系統(tǒng)。